




真空設(shè)備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達到檢測的目的。氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏,稱作氫氮混合氣檢漏法,或氫氣檢漏法。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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真空檢漏
超聲波法
該方法實際上是聽音法的一種。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉,僅僅使超聲波部分放大,以檢測出泄漏。檢測時,可以直接使用超聲波檢測器,根據(jù)檢測儀表指針是否擺動,確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用,在抽真空時,由于吸入的空氣發(fā)出超聲波,因而,采用真空法時也可以使用。
超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分,在普通工廠的噪音條件下,不受明顯干擾,因此檢漏效果很好。
該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器(探頭)間的距離等因素有關(guān)。當泄漏點與探頭距離很近時,超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。
檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大,一邊移動探頭,一邊偵聽,使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到較大。只要水壓不變,泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化,因而可以獲得較為一致的結(jié)果。然后,再尋找發(fā)出超聲波的位置,以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時,就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便,人為因素較小,不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。
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聽音法
氣體從小孔中噴出時,會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。真空箱氫氣檢漏設(shè)備真空打檢機/真空檢漏機采用聲學技術(shù),非接觸式在線檢測方式,速度800瓶每分鐘。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時與泄漏無關(guān)的聲音(例如電機的聲音)也會混雜進來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大,多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡單、經(jīng)濟。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點,即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同,所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此,這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測法并用。
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氫氣檢測儀是一種可連續(xù)檢測有毒氣體濃度,適用于防爆場所要求的本質(zhì)安全型設(shè)備。所有的氦氣檢漏儀器機構(gòu)的離子收集板,對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應(yīng),即氦離子打到離子收集板上,并儲存一定時間,然后再慢慢釋放出來,從而造成本底的噪音等問題。氫氣氣體檢測儀為本質(zhì)安全型產(chǎn)品,符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環(huán)境電氣設(shè)備》部分:通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環(huán)境電氣設(shè)備》第4部分:本質(zhì)安全型”i”的有關(guān)規(guī)定。便攜式氫氣泄漏檢測儀,是一種可連續(xù)檢測作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度的儀器。氫氣檢測儀為內(nèi)置泵吸式方式檢測氣體濃度,采用進口電化學傳感器,具有的靈敏度和出色的重復性;氫氣檢測儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡單,功能齊全,可靠性高,整機性能居國內(nèi)水平。檢測儀外殼采用高強度工程材料、復合彈性橡膠材料精制而成,強度高、手感好。

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